MIDAS-E-NH3 氨 (NH3)
MIDAS-E-ASH 胂 (AsH3), 鍺烷 (GeH4)
MIDAS-E-HCL 三氯化硼 (BCl3)、二氯硅烷 (H2Cl2Si)、溴化氫 (HBr)、氯化氫 (HCl)
MIDAS-E-HFU 氟化氫 (HF)、六氟化鎢 (WF6)
MIDAS-E-HFL 三氟化硼(BF3)、氟化氫 HF（低濃度）、六氟化鎢 (WF6)
MIDAS-E-HFX 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 (HF)、三氟化氮 (NF3)* 六氟化鎢 (WF6)
MIDAS-E-BR2溴 (Br2)、二氧化氯 (ClO2)
MIDAS-E-CFX 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6）、甲基氟 (CH3F)、八氟環戊烯 (C5F8)
MIDAS-E-CFH 六氟丁二烯 (C4F6)
MIDAS-E-COX 一氧化碳 ( CO)
MIDAS-E-HAL 氯 (Cl2) 氟 (F2)
MIDAS-E-B2H 乙硼烷 (B2H6)
MIDAS-E-H2X 氫氣 (H2)
MIDAS-E-HCN 氰化氫 (HCN)
MIDAS-E-H2S 硫化氫 (H2S)
MIDAS-E-LEL 氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)
MIDAS-E-NOX 一氧化氮(NO)
MIDAS-E-NO2 二氧化氮 (NO2)
MIDAS-E-O2X 氧氣 (O2)
MIDAS-E-O3X 臭氧 (O3)
MIDAS-E-O3H 臭氧 (O3高水平）
MIDAS-E-PH3 磷化氫 ( PH3)
MIDAS-E-SHL 硅烷 (SiH4)（低濃度）
MIDAS-E-SHX 硅烷 (SiH4)、乙硅烷
MIDAS-E-SO2 二氧化硫 (SO2)
MIDAS-E-TEO 正硅酸乙酯
MIDAS-E-XCF 二氟甲烷 (CH2F2) ), 六氟丁二烯 (C4F6), 八氟環戊烯 (C5F8)
MIDAS-E-XHF 三氟化氮 (NF3), 甲基氟 (CH3F)
MIDAS-I-CO2 二氧化碳
MIDAS-I-N2O 一氧化二氮
MIDAS-L-O2S 氧氣 (O2) 0.2-25% v/v