Wafergard
?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器
這些在線?PTFE?氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在?超純氣體應用?以及?一般氮氣和?CDA?應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE?濾芯在超純應用中表現出色?
專為高流量和低增量壓力應用而設計?
用于惰性和反應性氣體，包括臭氧?
為快速啟動而預先調節（僅限銀色）?
應用
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和?CDA?應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結構支撐的疏水?PTFE?膜
? 住房 電拋光低硫?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于?0.03?個顆粒/升?(<1?個顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
? 揮發物（銀） <10?ppb?H?2?O?和?O?2。低于?LDL?THC（檢測下限為?5?ppb）
移除等級 ≥0.0015?微米
表面處理內部 WGMX（青銅）MB?XXXX ≤20?μin?Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS?XXX/XXX ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2?x?10?-10?atm-cc/秒
? 經過測試 1?x?10?-9?atm-cc/秒
運行條件
? 最大入口壓力
? Silver?和?Bronze?Plus?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：7.0?MPa?(70?bar,?1015?psig)
? ? 青銅?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? ? Bronze?和?Bronze?Plus?1?4"、3?8"?和?1?2"?Swagelok?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? 最大正向壓差 7?巴?(102?psid)
? 最大反向壓差 2.5?巴?(36?psid)
? 最高工作溫度 120°C?(248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4"?公?VCR?入口，1/4"?母?VCR?出口 141.2?毫米（5.6?英寸）
WGMXMBRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMBSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMBSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMPRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMPSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMPSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMSBW2 1/4"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW3 3/8"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW4 1/2"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMSRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
?
?
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現貨
?為超純氣體系統過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動態壓力應用的理想選擇。
最先進的外殼組件通過最小化焊接區域來消除除氣
全金屬結構是高溫和動態壓力應用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設計效率并最大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰性和活性氣體
產品規格
材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
? 住房 電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
? 揮發物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
? Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
? Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
? ? Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
?零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
.特種氣體
特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫藥、電子及石油化工在內的許多行業都會受益于特種氣體的獨特性質，它有助于提高產量、優化性能以及降低成本。我們富有經驗的應用團隊遍布全球，可以根據對您的行業和應用情況的了解，為您提供特種氣體供應解決方案，以滿足您的獨特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
??
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）?
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應用 以及 一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應用中表現出色?
專為高流量和低增量壓力應用而設計?
用于惰性和反應性氣體，包括臭氧?
為快速啟動而預先調節（僅限銀色）?
應用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和 CDA 應用兼容
產品規格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
? 住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
? 揮發物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表面處理內部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
? 經過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運行條件
? 最大入口壓力
? Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
? ? 青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? ? Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? 最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
? 最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
? 最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無包裝）?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS8RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無包裝）?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?CBUG0S0S1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPRR4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPSS3?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F02RR4?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對齊
設計用于輕松插入標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中制造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用于最高 400°C (752°F) 的應用
用于保護敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應用?
產品規格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結 316L 不銹鋼過濾介質 ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95% ?
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
? Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標準 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
??
?Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對齊
設計用于輕松插入標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應用
保護關鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認證設施中制造
應用
Gasketgard 在線墊片過濾器應用
用于最高 400°C (752°F) 的應用
用于保護敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應用?
產品規格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結 316L 不銹鋼過濾介質 ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95% ?
運行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
??
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，
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ENTEGRISWGPM0GGG2
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ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG ?WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
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